無(wú)塵烤箱即無(wú)塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。 一、溫度勻稱(chēng)性差 原因: 1、功率調配不正當; 2、電熱部件路劫; 3、爐子構造不正當招致全部散熱過(guò)大; 4、爐子密封不L良,全部散熱能過(guò)大; 5、帶風(fēng)機的爐子氣體重復不勻稱(chēng)或者電力有余; 6、熱電偶裝置地位或者插人深淺使不得體現實(shí)正在溫度; 7、電熱部件散布不正當; 8、爐底溫度偏偏低; 9、加熱電源缺相,安Q全絲斷。 處理辦法: 1、從新打算改良功率配置; 2、改換路劫的電熱部件; 3、改良爐子構造或者改良結冰辦法; 4、審查爐子密封,消弭密封不L良要素; 5、正當安放作件,增微風(fēng)機的電力; 6、正當取舍熱電偶裝置地位或者插人深淺; 7、調動(dòng)電熱部件散布; 8、增大爐底加熱功率; 9、審查加熱電源通路。 二、溫度控制失效 原因: 1、溫度量具受到干擾; 2、熱電偶信號受到干擾; 3、熱電偶接觸不L良; 4、彌補導線(xiàn)短路或者路劫; 5、熱電偶距電熱部件太近; 6、溫度控制回路發(fā)作故障; 7、熱電偶遭到了侵蝕,電特點(diǎn)發(fā)作了變遷; 8、熱電偶對于地,掩護管絕緣升高; 處理辦法: 1、采取措施消弭攪擾源; 2、對于信號線(xiàn)增多屏障; 3、緊固熱電偶接報端子; 4、審查彌補導線(xiàn); 5、調動(dòng)兩者間的間隔; 6、培修溫度控制回路; 7、改換熱電偶; 8、審查熱電偶絕緣狀況; 三、溫度顯現值偏低 原因: 1、熱電偶參考端溫度太高; 2、熱電偶柵極漏電; 3、熱電偶柵極蛻變; 4、熱電偶丈量地位太遠; 5、彌補導線(xiàn)與熱電偶不匹配; 6、彌補導線(xiàn)與熱電偶極性接反; 7、彌補導線(xiàn)絕緣升高 處理辦法: 1、審查參考端溫度,應相符請求; 2、審查柵極、接報聯(lián)接; 3、改換熱電偶; 4、調動(dòng)丈量地位; 5、改換彌補導線(xiàn); 6、準確聯(lián)接彌補導線(xiàn); 7、改換彌補導線(xiàn); 四、溫度顯現平衡固 原因: 1、熱電偶柵極接觸不L良; 2、熱電偶有斷續短路或者路劫; 3、熱電偶有斷續接地; 4、熱電偶地位一直變遷; 5、彌補導線(xiàn)有接地、斷續短路或者路劫; 6、溫度顯現量具故障; 處理辦法: 1、從新聯(lián)接熱電偶; 2、審查熱電偶消弭故障點(diǎn)或者改換; 3、消弭接地方; 4、流動(dòng)好熱電偶; 5、審查彌補導線(xiàn),消弭故障點(diǎn); 6、培修或者改換溫度顯現表。
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