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        無(wú)塵烤箱即無(wú)塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

        一、溫度勻稱(chēng)性差

        原因:

        1、功率調配不正當;

        2、電熱部件路劫;

        3、爐子構造不正當招致全部散熱過(guò)大;

        4、爐子密封不L良,全部散熱能過(guò)大;

        5、帶風(fēng)機的爐子氣體重復不勻稱(chēng)或者電力有余;

        6、熱電偶裝置地位或者插人深淺使不得體現實(shí)正在溫度;

        7、電熱部件散布不正當;

        8、爐底溫度偏偏低;

        9、加熱電源缺相,安Q全絲斷。

        處理辦法:

        1、從新打算改良功率配置;

        2、改換路劫的電熱部件;

        3、改良爐子構造或者改良結冰辦法;

        4、審查爐子密封,消弭密封不L良要素;

        5、正當安放作件,增微風(fēng)機的電力;

        6、正當取舍熱電偶裝置地位或者插人深淺;

        7、調動(dòng)電熱部件散布;

        8、增大爐底加熱功率;

        9、審查加熱電源通路。

        二、溫度控制失效

        原因:

        1、溫度量具受到干擾;

        2、熱電偶信號受到干擾;

        3、熱電偶接觸不L良;

        4、彌補導線(xiàn)短路或者路劫;

        5、熱電偶距電熱部件太近;

        6、溫度控制回路發(fā)作故障;

        7、熱電偶遭到了侵蝕,電特點(diǎn)發(fā)作了變遷;

        8、熱電偶對于地,掩護管絕緣升高;

        處理辦法:

        1、采取措施消弭攪擾源;

        2、對于信號線(xiàn)增多屏障;

        3、緊固熱電偶接報端子;

        4、審查彌補導線(xiàn);

        5、調動(dòng)兩者間的間隔;

        6、培修溫度控制回路;

        7、改換熱電偶;

        8、審查熱電偶絕緣狀況;

        三、溫度顯現值偏低

        原因:

        1、熱電偶參考端溫度太高;

        2、熱電偶柵極漏電;

        3、熱電偶柵極蛻變;

        4、熱電偶丈量地位太遠;

        5、彌補導線(xiàn)與熱電偶不匹配;

        6、彌補導線(xiàn)與熱電偶極性接反;

        7、彌補導線(xiàn)絕緣升高

        處理辦法:

        1、審查參考端溫度,應相符請求;

        2、審查柵極、接報聯(lián)接;

        3、改換熱電偶;

        4、調動(dòng)丈量地位;

        5、改換彌補導線(xiàn);

        6、準確聯(lián)接彌補導線(xiàn);

        7、改換彌補導線(xiàn);

        四、溫度顯現平衡固

        原因:

        1、熱電偶柵極接觸不L良;

        2、熱電偶有斷續短路或者路劫;

        3、熱電偶有斷續接地;

        4、熱電偶地位一直變遷;

        5、彌補導線(xiàn)有接地、斷續短路或者路劫;

        6、溫度顯現量具故障;

        處理辦法:

        1、從新聯(lián)接熱電偶;

        2、審查熱電偶消弭故障點(diǎn)或者改換;

        3、消弭接地方;

        4、流動(dòng)好熱電偶;

        5、審查彌補導線(xiàn),消弭故障點(diǎn);

        6、培修或者改換溫度顯現表。

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