Lab Companion 無(wú)塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無(wú)塵高溫箱是實(shí)驗輔助干燥設備之一，應用范圍廣泛，操作較復雜，因此，較一般烘箱有著(zhù)更高的要求，使用過(guò)程中就有著(zhù)更多需要注意的地方。

一、樣品放置

1、不可在烘箱加熱狀態(tài)下放置樣品，需在確保加熱關(guān)閉狀態(tài)下放置樣品；

2、放置樣品時(shí)，上下四周應留存一定空間，保持箱內氣流暢通；

3、若樣品在干燥過(guò)程中會(huì )產(chǎn)生相態(tài)變化，必須裝在托盤(pán)中，避免污染其他樣品；

4、任何液態(tài)溶劑以及真空狀態(tài)下燃點(diǎn)、沸點(diǎn)降低至150℃以下物品，嚴禁放入箱內。

二、關(guān)緊箱門(mén)

1、關(guān)閉時(shí)不可太用力，避免造成箱體大幅震動(dòng)；

2、箱門(mén)上有螺栓，關(guān)閉時(shí)需確認箱門(mén)與硅膠密封條緊密結合。

三、加熱

1、加熱步驟必須在氣壓穩定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導致內外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內等突發(fā)狀況；

2、升溫過(guò)程中，加熱指示燈長(cháng)亮，達到設置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；

3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人。

四、溫度設置

1、設置溫度不可超過(guò)額定溫度，真空下物料燃點(diǎn)、沸點(diǎn)驟降，設置溫度不合理會(huì )造成固態(tài)物料熔融結塊等現象；

2、數顯溫度需正常指示，若不顯示或出現閃爍、跳躍等異常需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人；

3、操作人員需待實(shí)際溫度與設置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開(kāi)；

4、為避免控溫失靈，需有專(zhuān)人定時(shí)查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現異常需第D一時(shí)間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開(kāi)放氣閥門(mén)。

五、取樣

1、放氣時(shí)切勿將閥門(mén)一次開(kāi)至zui大，避免外部氣流進(jìn)入箱內時(shí)沖擊樣品，造成箱內及樣品間的污染；

2、由于長(cháng)時(shí)間真空導致箱門(mén)密封硅橡膠變形而無(wú)法打開(kāi)箱門(mén)時(shí)，不可強制開(kāi)啟箱門(mén)，只需等待密封硅橡膠圈緩慢恢復原狀，即可打開(kāi)箱門(mén)。

3、取樣完畢后，及時(shí)關(guān)閉放氣閥門(mén)。

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